千級無塵車間主要是過濾大于或等于0.5UM塵埃粒子，其送風(fēng)量按換氣數(shù)一般在50次以上。無塵凈化車間潔凈度級別分為百級>千級>萬級>十萬級>三十萬級，也就是說值越小，凈化級別就越高，潔凈度越高造價就越高。無塵車間的凈化潔凈度根據(jù)生產(chǎn)工藝要求，合適就好，一味地追求高級別只能造成資源上的浪費。
1、潔凈車間必須維持一定的相對正壓，不同等級的潔凈車間之間的壓強不小于5Pa;潔凈車間與非潔凈車間之間的壓強以不小于10Pa，以防止低級潔凈車間空氣逆流到高級潔凈車間；
2、溫度宜保持18~26℃
按照國際慣例，無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A級。目前應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A 級，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
而無塵車間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照 明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等 性能之特性。
下一條：如何維護潔凈室的正壓