潔凈技術(shù)（cleanroom）是適應(yīng)實(shí)驗(yàn)研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性等方面要求而誕生的一門(mén)新興技術(shù)。潔凈室（cleanroom）這個(gè)名詞和概念源于18世紀(jì)六十年代的歐洲醫(yī)學(xué)，當(dāng)時(shí)的理解僅限于經(jīng)噴灑消毒后可以控制創(chuàng)部感染率的處置室、手術(shù)室這類滅菌處理的工作環(huán)境?，F(xiàn)代潔凈室雖然延用了這個(gè)名詞，但在定義和內(nèi)涵上都與原有的概念有根本的不同，現(xiàn)代潔凈室形成一項(xiàng)專門(mén)技術(shù)，其歷史不過(guò)只有半個(gè)世紀(jì)。
我國(guó)空氣過(guò)濾器潔凈技術(shù)的發(fā)展大致可分為以下幾個(gè)階段：
● 20世紀(jì)60年代開(kāi)始—— 為三線建設(shè)服務(wù)—— 初創(chuàng)發(fā)展階段；
● 7 0年代～80 年代中—— 為大規(guī)模集成電路會(huì)戰(zhàn)服務(wù)—— 第一次大普及；
● 8 0年代中期～現(xiàn) 在—— 為醫(yī)藥行業(yè)生產(chǎn)環(huán)境現(xiàn)代化服務(wù)（GMP、潔凈手術(shù)室建設(shè)等）— 第二次大普及。
1）從20世紀(jì)50年代中期到60年代中期，主要借鑒前蘇聯(lián)的技術(shù)，服務(wù)于國(guó)防、航天、原子能工業(yè)與科研。與現(xiàn)代潔凈技術(shù)相比，在廠房、設(shè)備、氣流組織等各方面還都比較原始和粗糙，屬于起步階段。
2）從20世紀(jì)60年代中期到70年代后期，由于國(guó)內(nèi)外的種種原因，主要靠自力更生發(fā)展。當(dāng)時(shí)參照了美國(guó)和日本的標(biāo)準(zhǔn)和技術(shù)，逐步研制成高效過(guò)濾器和納焰法 試驗(yàn)臺(tái)、潔凈工作臺(tái)、粒子計(jì)數(shù)器、裝配式潔凈室及其他潔凈室附屬設(shè)備（風(fēng)淋室、傳遞窗、余壓閥等），編制了“空氣潔凈技術(shù)措施”，奠定了我國(guó)潔凈技術(shù)的基礎(chǔ)
3）從20世紀(jì)70年代末到80年代末，由于實(shí)行了改革開(kāi)放的國(guó)策，發(fā)達(dá)國(guó)家的技術(shù)與設(shè)備開(kāi)始進(jìn)入我國(guó)市場(chǎng)，現(xiàn)代潔凈技術(shù)在我國(guó)的大規(guī)模集成電路、光導(dǎo)纖維、彩色顯像管、液晶顯示屏等工業(yè)潔凈領(lǐng)域得到迅速發(fā)展，裝備0.1um高效過(guò)濾器的10級(jí)潔凈小室和無(wú)隔板過(guò)濾器研制成功。同時(shí)在醫(yī)療、制藥、生物、化妝品與食品行業(yè)生物潔凈室也得到應(yīng)用，一些制藥廠對(duì)原有空調(diào)系統(tǒng)的改造中開(kāi)始采用生物潔凈技術(shù)，簡(jiǎn)易的水平“單向流”潔凈室和裝配式無(wú)菌病房用于醫(yī)院，生物安全工作臺(tái)和細(xì)菌采樣儀研制成功。1982年我國(guó)醫(yī)藥行業(yè)GMP公布，1983年中國(guó)電子學(xué)會(huì)潔凈技術(shù)分會(huì)成立，1985年GBJ73-1984《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》頒布，我國(guó)的潔凈技術(shù)進(jìn)入穩(wěn)步發(fā)展階段、
4） 20世紀(jì)80年代末至今，在大規(guī)模集成電路領(lǐng)域全面引進(jìn)境外資金、技術(shù)與設(shè)備，形成一批知名的國(guó)際品牌企業(yè)，潔凈室的規(guī)模越來(lái)越大，風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組（FFU）和微環(huán)境技術(shù)得到應(yīng)用和推廣。在醫(yī)療和制藥領(lǐng)域潔凈技術(shù)趨向成熟與規(guī)范，生物安全技術(shù)發(fā)展迅速。包括微環(huán)境、密褶型無(wú)隔板高效過(guò)濾器、微計(jì)算機(jī)控制過(guò)濾器性能測(cè)試臺(tái)等潔凈技術(shù)相關(guān)的技術(shù)設(shè)備基本可以實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)，同時(shí)還開(kāi)始了0.1um光刻機(jī)及相關(guān)環(huán)境的研制。
我國(guó)的空氣潔凈技術(shù)經(jīng)歷了50多年的發(fā)展，已經(jīng)形成相當(dāng)完整的技術(shù)體系和廣闊的應(yīng)用市場(chǎng)，但必須看到，由于種種原因，在潔凈技術(shù)的高端領(lǐng)域和市場(chǎng)，我國(guó)還存在差距、缺少話語(yǔ)權(quán)，還需要科技和工程技術(shù)人員的不斷努力。
現(xiàn)在，我國(guó)的潔凈室技術(shù)已發(fā)展到以下水平。
①?gòu)能姽ぷ呦蛎裼谩扑帯⑨t(yī)療、食品；
②從高精走向普及——不僅高精尖產(chǎn)業(yè)要求，一般民需產(chǎn)業(yè)和家庭生活也出現(xiàn)大量需求；
③從國(guó)內(nèi)走向國(guó)外——空氣凈化產(chǎn)品和潔凈室工程已走出國(guó)門(mén)。