潔凈車間的監(jiān)控系統(tǒng)/設(shè)備由整套系統(tǒng)提供，F(xiàn)MCS負責(zé)系統(tǒng)操作數(shù)據(jù)的收集和控制，系統(tǒng)包的監(jiān)控系統(tǒng)/裝置應(yīng)提供通用的接口，要求溶劑回收系統(tǒng)、廢水提升系統(tǒng)、FFU系統(tǒng)、大宗氣體及純化氣系統(tǒng)、工藝真空系統(tǒng)、純水系統(tǒng)等提供OPC接口。潔凈車間所有運行參數(shù)及狀態(tài)通過通訊上傳至FMCS。
1.硬件配置
潔凈車間采用PLC控制，所有的硬接線點可以通過PLCs監(jiān)視并/或者控制。潔凈車間中每個PLC都是完全獨立的控制器，利用所有固件和軟件，在獨立的基礎(chǔ)上實現(xiàn)全部控制。其中CUB和FAB空調(diào)機房PLC采用冗余控制器（不接受軟件冗余），F(xiàn)AB其他部位PLC可采用非冗余控制器。
PLCs控制器和遠程I/O之間，潔凈車間中，采用光纖進行通信連接以抑制干擾和預(yù)防雷擊，且所有硬件模塊應(yīng)滿足ISA-S71.04 G3防腐標(biāo)準(zhǔn)。系統(tǒng)PCs在滿足系統(tǒng)要求的基礎(chǔ)上采用主流穩(wěn)定的規(guī)格配置。
FMCS網(wǎng)絡(luò)采用冗余網(wǎng)絡(luò)，網(wǎng)絡(luò)上的本地集線器/交換機需要通風(fēng)設(shè)備，以避免過熱。潔凈車間中，網(wǎng)絡(luò)配置管理器采用RJ-45以太網(wǎng)適配器，放在有門的接線盒里，包括盒和集線器之間的線路，為了集成系統(tǒng)包和設(shè)備包的數(shù)據(jù)，F(xiàn)MCS系統(tǒng)至少應(yīng)支持以下通信協(xié)議和接口：OPC DA&AE、OLE-DB、Modbus RTU&TCP、Profibus DP&PA、IEC61850、Profinet I/O、Hart等。
2.系統(tǒng)軟件
控制系統(tǒng)軟件可以定義多個級別的用戶，密碼保護和安全保證，包含全面制圖功能、報警管理、實時和歷史記錄，并提供實時過程數(shù)據(jù)。FMCS潔凈車間軟件采用統(tǒng)一的系統(tǒng)平臺，統(tǒng)一的數(shù)據(jù)庫，可以實現(xiàn)以下功能：PLC控制程序編程和下裝、圖形編輯工具、IEC61131-3編程語言、數(shù)據(jù)點配置和管理、系統(tǒng)診斷和設(shè)備管理、歷史趨勢、報警和報表組態(tài)等。
FMCS潔凈車間的監(jiān)視點包括工廠系統(tǒng)的儀器，閥門和傳感器信號，這些信號通過硬連線的I/O通道連接，以及通過以太網(wǎng)和OPC接口，連接其他系統(tǒng)和成套設(shè)備所提供的數(shù)據(jù)，其監(jiān)控類型包括AI-模擬量輸入通道（4～20mA）、AO-模擬量輸出通道（4～20mA）、DI-開關(guān)量輸入模塊（24V DC）、DO-開關(guān)量輸出通道（24VDC，0.5A配繼電器隔離）、集成系統(tǒng)包OPC Item數(shù)據(jù)和History Logs數(shù)據(jù)。要求防爆區(qū)域的信號必須經(jīng)過安全柵接入PLC。
每個潔凈車間的輸出通道必須保持其自身傳輸值的安全性，也就是說，它可以自動執(zhí)行測試控制器和輸出卡之間的通信超時。當(dāng)潔凈車間中的控制器故障或通信超時時，輸出通道可以根據(jù)組態(tài)保持在最后一次的輸出值或輸出一個預(yù)先設(shè)定的安全值。
下層現(xiàn)場監(jiān)控系統(tǒng)則用于現(xiàn)場監(jiān)控的系統(tǒng)由控制器、傳感器、變送器、執(zhí)行器及線路工程等組成，凈化工程應(yīng)用于空調(diào)機組、一般排風(fēng)、低溫冷凍水系統(tǒng)、中溫冷凍水系、PCW系統(tǒng)、空壓系統(tǒng)、一般給排水系統(tǒng)、鍋爐系統(tǒng)等。