潔凈技術(shù)的發(fā)展與應(yīng)用
來(lái)源：山東康德萊凈化工程有限公司時(shí)間：2020/9/26 17:47:08
國(guó)內(nèi)外的潔凈技術(shù)的發(fā)展都是隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展、工業(yè)產(chǎn)品的日新月異，特別是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展而不斷發(fā)展。現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和現(xiàn)代化科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。微型化的產(chǎn)品如電子計(jì)算機(jī)，從當(dāng)初的要在數(shù)間房間內(nèi)配置數(shù)臺(tái)設(shè)備組合發(fā)展到現(xiàn)在的筆記本電腦，它所使用的電子元器件從電子管到半導(dǎo)體分離器件到集成電路再到超大規(guī)模集成電路，僅集成電路的現(xiàn)寬已從幾微米發(fā)展到現(xiàn)今的0.1μm左右。以集成電路的微型化為例，它對(duì)空氣中受控粒子粒徑從0.3~0.5μm的要求發(fā)展到空氣中受控粒子的粒子尺寸要求控制在0.05μm甚至更小，可見(jiàn)各類(lèi)工業(yè)產(chǎn)品的微型化正不斷對(duì)潔凈技術(shù)提出更嚴(yán)格的要求。高純度的產(chǎn)品，如生產(chǎn)集成電路所需單晶硅材料，生產(chǎn)光釬所需四氯化硅、四氯化鍺材料已由過(guò)去的所謂高純進(jìn)入“電子純”、“超純”，只有達(dá)到如此高的純度才能達(dá)到現(xiàn)代集成電路、電子元器件、光釬產(chǎn)品所需的技術(shù)特性。要生產(chǎn)如此高純度的產(chǎn)品，就必須達(dá)到相應(yīng)的受控生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級(jí)和具有相應(yīng)高純度的與產(chǎn)品直接接觸的超純水，超純氣體、超純?cè)噭┑取?duì)于現(xiàn)今以“微型電腦”為手段的電子信息時(shí)代，產(chǎn)品的高質(zhì)量、高可靠性的重要意義是不言而喻的；對(duì)于確保人生安全的滅菌操作以及對(duì)于現(xiàn)代基因工程和金芯片的制作也具有特殊的意義?；谶@種趨勢(shì)潔凈技術(shù)的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)不可缺少的重要標(biāo)志之一。
20世紀(jì)60年代的潔凈技術(shù)在美國(guó)、歐洲等發(fā)達(dá)國(guó)家順應(yīng)各行各業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)和科學(xué)實(shí)驗(yàn)活動(dòng)的需要得到了廣泛應(yīng)用，可以認(rèn)為是潔凈技術(shù)的大發(fā)展時(shí)期。美國(guó)在1961年誕生了國(guó)際上最少的捷徑是標(biāo)準(zhǔn)系美國(guó)空軍技術(shù)條令203，并把編制聯(lián)邦政府給的任務(wù)交給了原子能委員會(huì)的出版機(jī)構(gòu)；1963年底頒布了第一個(gè)軍用部分的聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)即FS-杠209,從此聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)“209”就成為國(guó)際通行的著名的潔凈室標(biāo)準(zhǔn);1966年頒布了修訂后的FS—209A。1957年蘇聯(lián)第一顆人造衛(wèi)星上天后，美國(guó)政府加速發(fā)展宇航事業(yè)、精密機(jī)械加工和電子工業(yè)，這些都要求具有受控空氣潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，從而帶動(dòng)潔凈技術(shù)及其設(shè)備制造的大發(fā)展，1961年單向流潔凈技術(shù)和100級(jí)潔凈室的建立，更促進(jìn)了潔凈技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展。我國(guó)的潔凈室技術(shù)開(kāi)始于20世紀(jì)60年代初，在70年代電子工業(yè)潔凈室特別是半導(dǎo)體集成電路用潔凈室的設(shè)計(jì)、建造發(fā)展很快，相繼建成一批潔凈廠房，并研制成功100級(jí)單向流潔凈室；與此同時(shí)，潔凈廠房用設(shè)備和材料，如高效過(guò)濾器、潔凈工作臺(tái)、層流罩、潔凈烘箱、空氣吹淋室、 凈化型傳遞窗等相繼研制成功，并投入生產(chǎn)，雖然制造質(zhì)量和某些技術(shù)指標(biāo)與國(guó)際水平尚有差距，但已能滿(mǎn)足國(guó)內(nèi)部分需求。由高效過(guò)濾器、凈化設(shè)備和維護(hù)結(jié)構(gòu)（墻板、頂棚、地面）組裝完成的裝配室潔凈室研制成功。到20世紀(jì)70年代末我國(guó)潔凈室設(shè)計(jì)、建造和潔凈技術(shù)的發(fā)展走向成熟階段。