人們常常會聽到這樣的說法：“潔凈室中的污染又看不見，沒什么好清潔的。”“清潔前與清潔后的潔凈室都一樣干凈，所以不需要清潔”。這兩種說法反映了對潔凈室清潔維護工作的一般態(tài)度。潔凈室并不僅僅是工業(yè)生產(chǎn)活動的一個一般的組成部分，潔凈室就是而且也應當被看作是整個生產(chǎn)系統(tǒng)的中心部分，因為一系列關鍵工藝步驟必須在其中進行。那么究竟有沒有必要對潔凈室進行定期的清潔維護呢？
在講到清潔維護的重要性之前，我們先在認識一下潔凈室中的四大污染來源。
■ 潔凈室中的工具設備在運轉的過程中會向潔凈室空間擴散粒子
■ 潔凈室中的產(chǎn)品也會向潔凈室空間擴散粒子
■ 潔凈室中的設施，例如地面、墻面、天花板等，一刻不停地擴散著粒子
■ 潔凈室中的人員是污染的主要來源，潔凈室中的污染有80%都來自于人員散發(fā)的粒子
既然潔凈室有這么多污染來源，為什么潔凈室“看上去”還那么干凈呢？那是因為我們?nèi)庋壑荒芸吹搅酱笥?0um的塵粒，需要用顯微鏡才能看到小于50um的塵粒。（如下圖所示）而對于許多精密制造業(yè)來說，例如芯片制造業(yè)，任何大于0.1um的塵粒都會對產(chǎn)品造成危害。此時，就需要通過潔凈室和污染控制技術來達到合格的生產(chǎn)環(huán)境。
我們知道，潔凈室可以通過送風系統(tǒng)達到自凈的目的，但是通過循環(huán)風系統(tǒng)只能去除一部分污染，仍會有大量的污染物在重力作用和布朗運動的作用下造成堆積。堆積在表面的污染物并不是靜止不動的，污染物會通過表面直接或通過空氣和人員等媒介間接地與產(chǎn)品發(fā)生“接觸”，這種“接觸”就會對產(chǎn)品造成污染，導致產(chǎn)品不良。
此時，對潔凈室進行定期的清潔維護就顯得非常有必要了。我們進行清潔維護的目的首先在于去除污染，已達到潔凈室設計建造時預期的潔凈度，但最終還是為了保護我們的產(chǎn)品不受污染，提高產(chǎn)品的優(yōu)率。因此，我們可以將潔凈室清潔維護定義為：“從潔凈室內(nèi)或潔凈區(qū)內(nèi)重要性各不相同（對潔凈度而言）的表面，釋放出所有不希望的污染物，并把它們收集起來清除掉?！?
我們可以把清潔工作分為兩大范疇，預防性清潔和主動清潔。預防性清潔就是，防止產(chǎn)生污染物及防止外部環(huán)境的污染物傳入到潔凈室環(huán)境，或者使其達到最?。环乐刮廴疚镌陉P鍵區(qū)域中擴散。為主動清潔所采取的全部準備措施，也屬于預防性清潔。而主動清潔則是將污染物從關鍵區(qū)域中釋放出來。這里，我們重點講一下主動清潔的方法和原則。
根據(jù)所使用的工具不同，主動清潔的方法可以分為干法和濕法。干法就是使用真空吸塵器，或者是干的工具或粘著方法進行清潔。使用干法只能去除部分塵粒，粒子越小，其附著在表面的力就越大，并且粒子附著在表面的時間越長，就越難以將其清除。濕法清潔是對干法的有效補充。附著在表面的較小粒子，很難用真空吸塵器吸走，因為真空吸塵器達不到清除粒子所需的風速。此時，使用無塵拖把或無塵布配合清潔溶劑進行清潔就能有效地去除污染。同時，為了避免交叉污染，清潔時還應遵循從上到下，從里到外的清潔原則，并采用直線方向部分重疊的擦拭方法。
總之，定期對潔凈室進行清潔維護對于潔凈室性能的維持有著重要的意義。作為潔凈室工作者，一定要重視這項看似簡單的工作。