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潔凈度檢測(cè)方法與關(guān)鍵控制指標(biāo)

核心檢測(cè)方法

1. 懸浮粒子計(jì)數(shù)法：通過(guò)激光粒子計(jì)數(shù)器直接測(cè)量不同粒徑粒子濃度，是電子行業(yè)最常用方法。
2. 微生物采樣法：針對(duì)醫(yī)藥、食品等領(lǐng)域，通過(guò)培養(yǎng)皿沉降或空氣采樣器收集微生物并計(jì)數(shù)。
3. 綜合指標(biāo)法：結(jié)合溫濕度、壓差、風(fēng)速等參數(shù)，如十萬(wàn)級(jí)車間要求≥0.5μm粒子≤350萬(wàn)個(gè)/m³，浮游菌≤500個(gè)/m³。

關(guān)鍵控制指標(biāo)

• 壓差：不同潔凈等級(jí)車間之間壓差≥5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)≥10Pa。
• 溫濕度：電子廠房通?？刂茰囟炔▌?dòng)±1～2℃，濕度波動(dòng)±5%～10%，鋰電池干區(qū)需嚴(yán)格控制露點(diǎn)。
• 照度：生產(chǎn)區(qū)照度≥300Lx，輔助區(qū)200～300Lx。

不同行業(yè)潔凈度應(yīng)用差異

• 電子行業(yè)：側(cè)重粒子控制，如TFT-LCD、半導(dǎo)體需4～5級(jí)高潔凈環(huán)境。
• 醫(yī)藥行業(yè)：強(qiáng)調(diào)微生物控制，A級(jí)區(qū)需無(wú)菌環(huán)境。
• 食品行業(yè)：關(guān)注交叉污染，潔凈度等級(jí)多為10萬(wàn)級(jí)～萬(wàn)級(jí)[[5]]。