無塵車間的溫濕度隨著空氣潔凈度要求的提高，也考慮到人的舒適度，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。
具體對溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種無塵車間工程不宜超過25度。
濕度過高會產(chǎn)生大量的問題，如果相對濕度超過百分之五十時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，無塵車間工程濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學吸附在表面難以清除。相對濕度越高，粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。
便攜式溫濕度儀
HD 110
產(chǎn)品特色
-操作簡易且攜帶方便
- 顯示屏背光功能
- 定格值/最小值/最大值功能
- 選擇測量單位
產(chǎn)品功能
- 測量相對濕度, 露點和溫度
- 選擇測量單位 (溫度和露點)
- 測量值定格
- 顯示最小值和最大值
- 設(shè)置自動關(guān)機
- 顯示屏背光
技術(shù)規(guī)格
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測量參數(shù) |
測量單位 |
量程 |
精確度 |
分辨率 |
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相對濕度 |
%RH |
5 ~ 95 %RH |
精確度 (包含重復性, 線性, 遲滯): ±1.8 %RH ( +15 ~ +25 °C ) 工廠校準不確定度: ±0.88 %RH 溫度依賴性: ±0.04 x (T-20) %RH ( T< 15 °C 或 T>25 °C ) |
1 ppm |
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露點 |
°Ctd, °Ftd |
-40 ~ +70 °Ctd |
±0.6 °Ctd |
0.1 °Ctd |
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溫度 |
°C, °F |
-20 ~ +70 °C |
±0.3 °C |
0.1 °C |
技術(shù)功能
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顯示屏 |
4行, 液晶顯示屏, 尺寸 50 x 36 mm 2行 5 位 (數(shù)值) 2行 5 位 (單位) |
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電纜 |
卷式 , 長度 0.45 m , 展開后 2.4 m |
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外殼材質(zhì) |
ABS, 防護等級 IP54 |
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按鍵 |
5 個按鍵 |
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電磁兼容 |
CEM 2004/108/CE 和 NF EN 61010-1 |
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電源供應(yīng) |
4 節(jié) 1.5 VDC 七號電池 |
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電池壽命 |
150 小時 |
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測量環(huán)境 |
中性氣體 |
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操作溫度 (主機) |
0 ~ +50 °C |
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操作溫度 (探頭) |
-20 ~ +70 °C |
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儲存溫度 |
-20 ~ +80 °C |
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自動關(guān)機 |
可設(shè)置 0 ~ 120 分鐘 |
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重量 |
340 g |