無(wú)塵車(chē)間的浮游微粒子濃度，若用高性能的送風(fēng)系統(tǒng)即可達(dá)到零水平，然而實(shí)際的生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)由于作業(yè)者、機(jī)器、周邊機(jī)械的發(fā)塵及基板運(yùn)送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚(yáng)起了少許的微粒子，故造成了元件清潔面的粒子污染。整理了這幾年來(lái)關(guān)于無(wú)塵室相關(guān)的管理經(jīng)驗(yàn)給大家整理了這篇文章參考：
無(wú)塵車(chē)間內(nèi)如何控制微粒子濃度呢?
1、 不攜入 :人、機(jī)、料進(jìn)無(wú)塵室不攜入微粒子
(1)進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導(dǎo)電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等， 再通過(guò)風(fēng)淋室吹淋，高速干凈的氣流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完畢才能進(jìn)入無(wú)塵室。
(2)機(jī)器、材料進(jìn)無(wú)塵室前，應(yīng)盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養(yǎng)后用超純水擦拭，經(jīng)貨淋室吹淋或風(fēng)淋傳遞窗吹淋后才能進(jìn)入無(wú)塵室。
(3)無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有空氣過(guò)濾器的排氣用小型過(guò)濾單元于腰間。