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凈化工程未來發(fā)展和應用趨勢

潔凈技術又稱為生產環(huán)境和污染控制技術，是近些年隨著高新技術發(fā)展起來的一門綜合性的新興科學技術。潔凈技術通常包括：空氣凈化技術、空調技術、水純化技術、氣體純化技術、微量雜志控制技術、潔凈環(huán)境的檢測技術及相關的環(huán)境的控制技術。凈化工程技術在電子、核子、航空航天、生物工程、制藥、精密機械、化工、食品、汽車制造等高科技工業(yè)領域及現(xiàn)代科學領域中得到廣泛應用。

對于半導體設備來講，凈化工程技術在微電子技術中起著十分重要的作用。微電子技術的核心是集成電路。而集成電路的生產對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術和設備提出了嚴格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點的信息產業(yè)。凈化工程技術水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區(qū)科學技術水平和工業(yè)水平的一個重要標志。

隨著我國人民生活水平提高，人們對生存環(huán)境及生活質量提出了越來越高要求，用水純化設備制備的高純水已受到人們普遍歡迎，凈化工程技術已經開始進入千家萬戶，進入人們的現(xiàn)代生活。

我國的潔凈技術和設備與國外先進國家相比差距是明顯的，我國1965年才開始生產的HEPA過濾器，比國外了十五年。1975年開始生產的光散射塵埃粒子計數(shù)器比國外晚了二十年。0.1微米潔凈技術和設備在國際上先進國家已成為成熟技術，我國則剛剛起步。

世界各工業(yè)先進國家為適應超凈技術的發(fā)展，對大量使用的高效過濾器的研究從未終端，幾年來一直在開發(fā)不同結構不同性能的新產品，美國自1979年開始研制0.1微米ULPA過濾器，1984年美國AAF公司開始生產0.1微米無隔板ULPA過濾器，目前0.1為嘛ULPA過濾器在美國AAF公司、FLANDERS公司和CAMBIDGE公司已形成商品化生產。日本也已成為世界上生產0.1微米ULPA過濾器廠家最多的國家，品種發(fā)明多，產品系列化，尤其是低壓損型0.1微米ULPA過濾器的開發(fā)成功解決了初阻力大的技術難題。國際市場對高效空氣過濾器的需求量很大，且每年均有增長，目前日本每年銷售超過100萬臺，按每臺平均價格200美元計算，銷售額達2億美元。我國高效空氣過濾器市場需求量已接近每年10萬臺，占國際市場的2%-4%，但至今還沒有0.1微米ULPA過濾器生產，用于超大規(guī)模集成電路生產潔凈廠房及各種高科技領域潔凈廠房的0.1微米ULPA過濾器目前還要以來進口。