必須仔細選擇凈化工程的各種用材，確保他們不會對室內(nèi)造成污染。凈化工程內(nèi)經(jīng)常使用的材料和設備舉例如下：
1） 生產(chǎn)中使用的材料：在微電子T業(yè)中使用的硅晶片和工藝化學品，在藥品工業(yè)中使用的配料及容器；在食品和化妝品工業(yè)中使用的各種配料，添加劑，填充劑等。
2） 產(chǎn)品包裝材料：玻璃瓶，塑料瓶，塑料袋，預制的盒子等。
3） 工藝設備和機器
4） 對設備和機器進行維修，校準，修理的工具以及轉(zhuǎn)動設備的潤滑劑等。
5） 人員服裝，如潔凈工作服，手套，指套，口罩，頭罩等。
6） 凈化工程清潔用品:如抹布與拖把。
7） 消耗性用品：如書寫紙張，圓珠筆，標簽，棉簽等。
根據(jù)凈化工程公司生產(chǎn)的產(chǎn)品不同的情況與要求，對生產(chǎn)產(chǎn)品造成危害的主要污染物不外乎以下幾種：固態(tài)，液態(tài)的粒子；微生物，化學品，靜電，分子污染。
在大多數(shù)凈化工程中粒子和纖維都是環(huán)境污染的主要來源。所以，應避免在生產(chǎn)工藝中使用容易破損或散發(fā)粒子的材料。其表面帶有粒子和纖維的材料也應避免使用。醫(yī)療，食品，化妝品工業(yè)等生物凈化工程中，微生物則是主要的污染物。在半導體工業(yè)中，產(chǎn)品表面的化學品和空氣環(huán)境中的某些氣體分子可能形成的化合物，會沉積在半導體的表面上，它們可能影響產(chǎn)品質(zhì)量，甚至損壞半導體芯片。
在一些凈化工程中，那些無法將靜電不會傳導開的材料，可能會因為靜電荷的積累和放電使那些對靜電敏感產(chǎn)品會受到損壞，此外，靜電還會使材料產(chǎn)生靜電吸附效應而吸附物。