
| 需求場(chǎng)景 | 推薦技術(shù)方案 | 
|---|---|
| 高潔凈需求(ISO 1-5 級(jí)) | 采用 “初效 + 中效 + 亞高效 + ULPA(超高效過(guò)濾器)” 四級(jí)過(guò)濾;垂直單向流氣流組織,風(fēng)速 0.3-0.5m/s | 
| 中低潔凈需求(ISO 6-8 級(jí)) | 采用 “初效 + 中效 + HEPA(高效過(guò)濾器)” 三級(jí)過(guò)濾;非單向流氣流組織,換氣次數(shù) 15-30 次 /h | 
| 需控氣態(tài)污染物(如半導(dǎo)體光刻) | 額外加裝化學(xué)過(guò)濾器(Chemisorb),根據(jù)污染物類型選擇活性炭(除有機(jī)物)或分子篩(除酸堿) | 
| 節(jié)能需求突出 | 配備變頻風(fēng)機(jī)(根據(jù)壓差自動(dòng)調(diào)風(fēng)量)、熱回收裝置(回收排風(fēng)熱量),減少能耗 30% 以上 | 
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