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有關(guān)靜電的參數(shù)
潔凈室中由于靜電引起的事故屢有發(fā)生，因此潔凈室的防靜電能力如何已成為評(píng)價(jià)其質(zhì)量的一個(gè)不可忽視的方面。
所謂靜電，是由于摩擦等原因破壞了物體中正(十)負(fù)(一)電荷等量的電中性狀態(tài)，而使電荷過剩，物體呈帶電狀態(tài)，由于這些電荷平時(shí)是不流動(dòng)的，故稱靜電。
在潔凈室內(nèi)靜電導(dǎo)致的事故有以下幾方面。

 1.靜電放電引起的靜電電擊，會(huì)引起人的不安全感和恐懼感，可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒，由摔倒又致傷);
2.靜電放電引起的放電電流，可導(dǎo)致諸如半導(dǎo)體元件等破壞和誤動(dòng)作，例如將50塊P-MOS電路放在塑料袋內(nèi)，搖晃數(shù)次后，與非門柵嚴(yán)重?fù)舸┱哂?jì)39塊，失效率竟達(dá)78%，這是因?yàn)榘雽?dǎo)體器件對(duì)靜電放電十分靈敏，見表5-10;

 3靜電放電產(chǎn)生的電磁波可導(dǎo)致電子儀器和裝置的雜音和誤動(dòng)作;4靜電放電的發(fā)光可導(dǎo)致照相膠片等感光破壞;
5靜電的力學(xué)現(xiàn)象可導(dǎo)致篩孔被粉塵堵塞、紡紗線紛亂、印刷品深淺不均和制品污染;
6靜電放電引起的最危險(xiǎn)的危害是成為可燃物的火源并引起爆炸，例如國(guó)外文獻(xiàn)統(tǒng)計(jì)，在手術(shù)室使用爆炸性麻醉劑的86000次中，有36次爆炸，其中由靜電引起的21次。
靜電事故的產(chǎn)生主要在于靜電的產(chǎn)生和積累，而氣流的流動(dòng)，氣流和管道、風(fēng)口、過濾器等摩擦，人體和衣服的摩擦，衣服之間的摩擦，工藝上的研磨、噴涂、射流、洗滌、攪拌、黏合和剝離等操作，所有這些都可能產(chǎn)生靜電。在一般情況下，越是電導(dǎo)率小的非導(dǎo)體(絕緣體)，由于電荷產(chǎn)生后不易流動(dòng)，因此越容易
帶電。靜電問題所以在潔凈室中特別嚴(yán)重，是因?yàn)椴粌H在潔凈室中具備前述產(chǎn)生靜電的多種工藝因素，而且因?yàn)闈崈羰抑械脑S多材料如塑料地面、墻面，尼龍、的確良等的工作服都有很高的電阻率，都極易產(chǎn)生靜電和聚集靜電，在潔凈室的靜電災(zāi)害未被重視以前，這些材料是被廣泛采用的。表5-11列舉了國(guó)內(nèi)幾個(gè)集成電路生產(chǎn)用潔凈室?guī)щ姞顟B(tài)的兩次測(cè)定數(shù)據(jù)。
表5-12列舉了在進(jìn)行超高頻晶體管和超高頻二極管的各道工序中，操作人員身上的電位。
穿棉工作服時(shí)，操作人員身上電位最小(50~200V)，穿某些合成材料制的服裝的操作人員，身上電位在2500V以上，最高可達(dá)10kV以上，而且所有上述這些數(shù)值還不是最高值。