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潔凈室技術(shù)的發(fā)展
一，國(guó)際上空氣潔凈技術(shù)的發(fā)展
第一階段是朝鮮戰(zhàn)爭(zhēng)中美國(guó)發(fā)現(xiàn)其大量電子儀器失靈出故障，其中16萬(wàn)個(gè)設(shè)備就需要一百多萬(wàn)個(gè)替換電子元件，有84%的雷達(dá)失效，48%的水聲測(cè)位儀失效，陸軍65%~75%的電子設(shè)備失效，并且每年的維修費(fèi)用超出原價(jià)2倍，而5年中空軍電子設(shè)備的維修費(fèi)用是設(shè)備原價(jià)的10倍多。最終，美軍找到了主要原因是灰塵作怪，這促成了空氣潔凈技術(shù)的起步，特別是高效過(guò)濾器的誕生。
第二階段，1957年前蘇聯(lián)第一顆人造衛(wèi)星上天后，刺激美國(guó)加速發(fā)展宇航事業(yè)，特別是阿波羅號(hào)登月，不僅精密機(jī)械加工和電子控制儀器要求凈化，而且為了從月球帶回巖石，對(duì)容器，工具的潔凈度有嚴(yán)格要求，其加工環(huán)境必須超凈，因而帶動(dòng)潔凈室技術(shù)和設(shè)備的大發(fā)展，出現(xiàn)了層流技術(shù)和百級(jí)潔凈室，出現(xiàn)了第一個(gè)潔凈室標(biāo)準(zhǔn)。
第三階段，1970年1K位的集成電路進(jìn)入大生產(chǎn)時(shí)期，中國(guó)不久也開始集成電路會(huì)戰(zhàn)，使?jié)崈羰壹夹g(shù)得以騰飛。日本從20世紀(jì)60年代初到70年代空氣潔凈技術(shù)產(chǎn)品迅猛發(fā)展，1971年突然急劇降到低谷，但次年又突然飛速發(fā)展起來(lái)。這還和藥品生產(chǎn)對(duì)潔凈室的需求進(jìn)人新階段有關(guān)，因?yàn)?969年世界衛(wèi)生組織正式制訂了GMP(藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范).
第四階段，20世紀(jì)80年代大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路的發(fā)展進(jìn)一步促進(jìn)空氣潔凈技術(shù)的發(fā)展，其中集成電路上的最細(xì)光刻線條寬度進(jìn)入2~3pm.20世紀(jì)70年代末和80年代初，美國(guó)，日本研制成了0.1pm級(jí)超高效過(guò)濾器，于是既對(duì)潔凈室提出高要求，也有了高手段。1985年，日，美，西歐凈化產(chǎn)品總值約29億美元，1988年達(dá)到73億美元，到20世紀(jì)80年代末僅日本就突破5000億日元即35億美元。