電子廠房凈化工程是確保電子產(chǎn)品生產(chǎn)質(zhì)量和性能的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，以下將從設(shè)計、施工、設(shè)備選型、驗(yàn)收及運(yùn)維等方面進(jìn)行詳細(xì)介紹：
- 潔凈度等級確定：根據(jù)生產(chǎn)的電子產(chǎn)品類型和工藝要求來確定潔凈度等級。如半導(dǎo)體芯片制造車間通常要求 ISO 5 級（百級）以上，甚至達(dá)到 ISO 3 級（Class 1），而普通電子元器件生產(chǎn)車間可采用 ISO 7 級（萬級）12。
- 氣流組織設(shè)計：采用計算流體力學(xué)（CFD）模擬氣流走向，避免出現(xiàn)渦流區(qū)。對于要求較高的車間，如采用垂直單向流，天花板 FFU 覆蓋率應(yīng)達(dá) 80% 以上，風(fēng)速控制在 0.45±0.1m/s24。
- 溫濕度控制設(shè)計：電子廠房凈化工程中，溫度波動范圍一般控制在 ±0.5℃，濕度控制在 45%-60% RH，以避免靜電產(chǎn)生及對電子產(chǎn)品的性能造成影響1。
- 空間布局規(guī)劃：考慮生產(chǎn)流程和工藝要求，合理規(guī)劃各個功能區(qū)域的位置，常見的 “回” 字形或 “田” 字形布局，能將污染風(fēng)險較高的原材料入口與成品出口有效隔離。同時，要預(yù)留 20%-30% 的技術(shù)夾層高度，用于布置風(fēng)管、工藝管道和電纜橋架4。